ניטראָגען טריפלאָרידע (NF3) הויך ריינקייַט גאַז
יקערדיק אינפֿאָרמאַציע
CAS | 7783-54-2 |
EC | 232-007-1 |
UN | 2451 |
וואָס איז דעם מאַטעריאַל?
ניטראָגען טריפלאָרידע (NF3) איז אַ בלאַס און אָודערלאַס גאַז אין צימער טעמפּעראַטור און אַטמאַספעריק דרוק. עס קענען זיין ליקוואַפייד אונטער מעסיק דרוק. NF3 איז סטאַביל אונטער נאָרמאַל טנאָים און קען נישט צעלייגנ זיך. אָבער, עס קענען צעלאָזן ווען יקספּאָוזד צו הויך טעמפּעראַטורעס אָדער אין דעם בייַזייַן פון זיכער קאַטאַליסץ. NF3 האט אַ הויך גלאבאלע וואָרמינג פּאָטענציעל (GWP) ווען באפרייט אין דער אַטמאָספער.
ווו צו נוצן דעם מאַטעריאַל?
רייניקונג אַגענט אין די עלעקטראָניק אינדוסטריע: NF3 איז וויידלי געניצט ווי אַ רייניקונג אַגענט פֿאַר רימוווינג ריזידזשואַל קאַנטאַמאַנאַנץ, אַזאַ ווי אַקסיידז, פֿון די סערפאַסיז פון סעמיקאַנדאַקטערז, פּלאַזמע אַרויסווייַזן פּאַנאַלז (פּדפּס) און אנדערע עלעקטראָניש קאַמפּאָונאַנץ. עס קענען יפעקטיוולי ריין די סערפאַסיז אָן דאַמידזשינג זיי.
עטשינג גאַז אין סעמיקאַנדאַקטער פאַבריקיישאַן: NF3 איז געניצט ווי אַ עטשינג גאַז אין די מאַנופאַקטורינג פּראָצעס פון סעמיקאָנדוקטאָרס. עס איז דער הויפּט עפעקטיוו אין עטשינג סיליציום דייאַקסייד (SiO2) און סיליציום ניטרידע (Si3N4), וואָס זענען פּראָסט מאַטעריאַלס געניצט אין די פאַבריקיישאַן פון ינאַגרייטיד סערקאַץ.
פּראָדוקציע פון הויך-ריינקייַט פלאָרין קאַמפּאַונדז: NF3 איז אַ ווערטפול מקור פון פלאָרין פֿאַר די פּראָדוקציע פון פאַרשידן פלאָרין-מיט קאַמפּאַונדז. עס איז געניצט ווי אַ פּריקערסער אין דער פּראָדוקציע פון פלואָראָפּאָלימערס, פלואָראָקאַרבאַנז און ספּעציאַליטעט קעמיקאַלז.
פּלאַזמע דור אין מאַנופאַקטורינג פון פלאַך טאַפליע אַרויסווייַזן: NF3 איז געניצט צוזאַמען מיט אנדערע גאַסאַז צו שאַפֿן פּלאַזמע אין די פּראָדוקציע פון פלאַך טאַפליע דיספּלייז, אַזאַ ווי פליסיק קריסטאַל דיספּלייז (LCDs) און PDPs. די פּלאַזמע איז יקערדיק אין די דעפּאַזישאַן און עטשינג פּראַסעסאַז בעשאַס טאַפליע פאַבריקיישאַן.
באַמערקונג אַז ספּעציפיש אַפּלאַקיישאַנז און רעגיאַליישאַנז פֿאַר די נוצן פון דעם מאַטעריאַל / פּראָדוקט קען בייַטן לויט לאַנד, אינדוסטריע און ציל. שטענדיק נאָכגיין זיכערקייַט גיידליינז און באַראַטנ אַ מומחה איידער איר נוצן דעם מאַטעריאַל / פּראָדוקט אין קיין אַפּלאַקיישאַן.